Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）の三次元測定機

Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）が提供している三次元測定機の特徴

座標測定技術による高精度測定

Panasonicの超高精度三次元測定機は、ステージと独立した3枚の参照平面（ミラー）で構成されています。周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法で、XYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。

この構成はステージの直角度・真直度による影響を抑えることができ、高精度測定をおこなうことができます。

高精度スキャニングを可能にする測定プローブ

上面測定用（AFP）では、スタイラスをマイクロエアスライダーで保持し、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

また側面測定用（S-AFP）は、高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックして、低接触力のスキャン測定ができます。

簡単な操作で高精度測定を実現

Panasonicの三次元測定機は超高精度ですが、簡単な操作で測定できるので、あらゆる設計情報に対応できます。測定物の設置誤差も3次元的に補正し、正確な形状測定ができます。

まず設計情報を入力し、測定中心を見つけて軸上・面上を走査測定します。測定データと設計式の差を数値化して高精度測定をしています。

一般的な測定機では測定が困難な、複雑な形状の部品や製品、大型のワークの高精度測定に適しています。また操作も容易で、高精度測定ながら誰でも簡単に測定できます。自動車や電気、医療機器など、さまざまな分野に広く活用できます。

三次元測定機のラインナップ

UA3P-300

引用元：Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）公式HP
https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p/specification.html

ナノレベルの精度で微細形状を測定できる高精度三次元測定機です。レンズや金型などの光学部品の測定に優れ、最高0.01μmの精度で測定できます。上面測定プローブと側面測定プローグを使い分けることで、低接触力でスキャニングできます。

UA3P-300の価格

UA3P-300の価格は公式HPに記載がありませんでした。

UA3P-300の製品スペック

製品種別：標準タイプの超高精度三次元測定機
測定分解能：XYZ各軸 0.3nm
座標軸による測定誤差：0.05μm以内（～100mm）
上面測定力：0.15～0.30mN（15～30mgf）
側面測定力：0.30mN（30mgf）
側面測定精度：±0.15μm（90°傾斜測定時）
側面測定最大角度：水平方向測定時 45°～90°、垂直方向測定時 80°～90°
スタイラス：先端角30°、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
特徴：UA3P-300はUA3Pシリーズの標準タイプとして掲載されているモデルです。3枚の参照平面（ミラー）と周波数安定化He-Neレーザを用いたレーザ干渉法により、ステージの直角度や真直度の影響を抑えた測定に対応しています。上面測定用AFPと側面測定用S-AFPを備え、非球面レンズや自由曲面ミラー、その金型の測定用途が案内されています。

 UA3P-500H

引用元：Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）公式HP
https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p/specification.html

大型タイプの高精度三次元測定機です。非球面レンズや自由曲面ミラーなど、ナノ精度が求められる金型の測定に強みがあります。上面と側面を同時に測定することで、光軸の偏心や傾きを評価できます。

UA3P-500Hの価格

UA3P-500Hの価格は公式HPに記載がありませんでした。

UA3P-500Hの製品スペック

製品種別：大型タイプの超高精度三次元測定機
対応カテゴリ：UA3Pシリーズ 大型タイプ
測定機能：上面測定機能、側面測定機能
対象オプション：ウェーハレベルレンズ（WLL）対応機種
特徴：UA3P-500HはUA3Pシリーズの大型タイプとして掲載されているモデルです。上面測定と側面測定に対応したシリーズで、ウェーハ内のレンズ形状や傾き偏心評価に用いるウェーハレベルレンズの対象機種にも含まれています。非球面レンズや自由曲面ミラー、その金型の測定用途が案内されています。

UA3P-400T

引用元：Panasonic（パナソニック プロダクションエンジニアリング）公式HP
https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/products/ua3p/lineup.html

上面測定と側面測定の両方に対応したTwinプローブ仕様の超高精度三次元測定機です。非球面レンズや自由曲面ミラー、金型などの微細形状をナノレベルで測定できるシリーズで、上面測定用AFPと側面測定用S-AFPを搭載しています。形状に応じてプローブを使い分けられるため、複雑なワークの測定内容を整理しやすい構成です。

UA3P-400Tの価格

UA3P-400Tの価格は公式HPに記載がありませんでした。

UA3P-400Tの製品スペック

製品種別：上面・側面測定機タイプ（Twinプローブ）
測定機能：上面測定機能、側面測定機能
測定分解能：XYZ各軸 0.3nm
座標軸による測定誤差：0.05μm以内（～100mm）
上面測定力：0.15～0.30mN（15～30mgf）
側面測定力：0.30mN（30mgf）
側面測定精度：±0.15μm（90°傾斜測定時）
側面測定最大角度：水平方向測定時 45°～90°、垂直方向測定時 80°～90°
スタイラス：先端角30°、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
特徴：UA3P-400TはUA3Pシリーズの上面・側面測定機タイプとして掲載されているモデルです。3枚の参照平面（ミラー）と周波数安定化He-Neレーザを用いたレーザ干渉法により、ステージの直角度や真直度の影響を抑えた測定に対応しています。ウェーハやレンズ、自由曲面部品の測定を想定したシリーズです。

UA3P-3100

引用元：Panasonic（パナソニック プロダクションエンジニアリング）公式HP
https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/products/ua3p/lineup.html

高精度タイプとして掲載されている超高精度三次元測定機です。非球面レンズや自由曲面ミラー、金型などの微細形状測定を想定したUA3Pシリーズの1機種で、上面測定機能と側面測定機能に対応しています。ナノレベルの分解能を備えたシリーズで、微小な形状差を確認したい場面に向いた構成です。

UA3P-3100の価格

UA3P-3100の価格は公式HPに記載がありませんでした。

UA3P-3100の製品スペック

製品種別：高精度タイプの超高精度三次元測定機
対応カテゴリ：UA3Pシリーズ 高精度タイプ
測定機能：上面測定機能、側面測定機能
測定分解能：XYZ各軸 0.3nm
座標軸による測定誤差：0.05μm以内（～100mm）
上面測定力：0.15～0.30mN（15～30mgf）
側面測定力：0.30mN（30mgf）
側面測定精度：±0.15μm（90°傾斜測定時）
側面測定最大角度：水平方向測定時 45°～90°、垂直方向測定時 80°～90°
スタイラス：先端角30°、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
特徴：UA3P-3100はUA3Pシリーズの高精度タイプとして掲載されているモデルです。3枚の参照平面（ミラー）と周波数安定化He-Neレーザを用いたレーザ干渉法により、ステージの直角度や真直度の影響を抑えた測定に対応しています。上面測定用AFPと側面測定用S-AFPを備え、レンズや自由曲面部品の測定用途が案内されています。

Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）の三次元測定機まとめ

UA3Pシリーズは、非球面レンズや自由曲面ミラー、金型などの微細形状をナノレベルで測定できます。「測れないモノはない」をコンセプトに、特に光学部品のモノづくりをサポートしており、スマートフォンやデジタル家電、光通信、車載用HUDなど幅広い用途に活用されています。

 Panasonic（パナソニックFSエンジニアリング）の概要

【測定対象別】

三次元測定機・レーザー
トラッカー3選

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